NEBB及潔凈室測試規范-潔凈室工程
潔凈室的定義,zui早是在美國聯邦標準209上出現,之后日漸普及并廣為半導體業與制藥業接受。在歐洲與日本,隨著工業的日益發展,各國的版本也逐漸出現。[url=http://www.iwuchen.com/]潔凈室[/url]到了90年代后期,產業界體認到若是無共同標準,就不能實現經濟的化,于是有ISO-14644的產生。以下說明潔凈室的各種標準與規范。
Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) :美國聯邦標準209E,209的出版發行,是在1960年代,之后不斷改版以因應科技進步與工業發展,版本從原始的209、209A,一直到1992年的zui后一版209E。在2001年11月29日,美國正式宣布廢止209E,改用ISO-14644,于是209E在書面上走入歷史。但是在產業界,除了部份的歐洲公司之外,美國、日本、中國臺灣、與中國大陸,都還沿用209E。
ISO-14644系列;美國政府為了推動經濟化,就很大方的放棄了自己的209E,改而推行全部使用公制的標準ISO-14644。14644系列有8個子題,稱為14644-1,14644-2,一直到14644-9。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監視的規范、測試的程序方法、設計與建造、操作、以及其它的有關設備等,范圍很廣。有些主題已經定案,有些只有初稿如14644-9,
JIS B9920 (1989):日本的潔凈標準,規定潔凈室中浮游粒子的濃度測定方式,及潔凈度的等級定義。
VDI 2083 (1993):德國的潔凈標準,規定潔凈度等級的定義方式,以及潔凈度的量測技術。
Gost-R 50766 (1995):俄國的潔凈標準,定義潔凈室的分類與一般需求。
以上是潔凈室、[url=http://www.fenglinji.com/]風淋室[/url]等級規定,與潔凈度量測的相關標準。另外有關潔凈室污染控制(也就是潔凈度控制),和環境控制(如溫濕度、震動噪音等),也有一些重要的測試規范,因為這些環境影響因素,都包含在潔凈室性能測試的范圍之內。
IEST-RP-CC-006.2:這本有名的測試規范,目的就是為了補209的不足。209只有微粒量測,006 包括了風速風量、濾網泄漏、潔凈度、溫濕度、平行度、恢復率、粒子沉降測試、照度等。006 的*版稱為006-84-T,006.2是第二版。現在由于 NEBB 的興起,0062已經功成身退,逐漸消失了。
NEBB [url=http://www.songfengkou.com/]高效空氣過濾器[/url]潔凈室測試規范第二版:這是目前zui廣為流行的測試規范,提到潔凈室認證,就非 NEBB 莫屬。NEBB 潔凈室測試規范,可說是IEST-0062的改良版,其測試涵蓋范圍差不多,但是測試程序更為清楚嚴謹,儀器使用也有詳細規定。因此 NEBB 潔凈室測試規范的出現,解決了不少測試的爭議,也因此 NEBB 潔凈室測試規范成功的成為產業標準。有關 NEBB,請參照本站新聞中心【NEBB】專題。
ISO-14698 系列:14698 有三個子題,是有關生物污染的控制,請參照本站標準規范【ISO 14698】相關文章
每一種行業,甚至每一家公司或工廠,對潔凈室的要求可能都不一樣。以上所列潔凈室定義與潔凈室測試規范,雖然以可滿足大部份廠商的需求,但是嚴格來講,這些規范也只是一個參考。各公司在訂定測試規格時,應依照自己的制程需求,在上述規范里取出自己適用的部份,并要求供貨商與測試單位照辦,必要時可以酌情修改測試標準,才能真正滿足自己的需求。
參考鏈接:
手術室凈化工程:http://www.iwuchen.com/6/
潔凈室等級標準:http://www.iwuchen.com/news-2/
潔凈室檢測標準:http://www.iwuchen.com/news-3/
無塵廠房設計規范:http://www.iwuchen.com/news-4/
無塵車間管理制度:http://www.iwuchen.com/news-5/
潔凈室換氣次數標準:http://www.iwuchen.com/a-95/
潔凈室施工方案:http://www.iwuchen.com/modpic-11/