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2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱北京銳潔機器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質經銷商
  • 更新時間2018/10/26 14:08:19
  • 訪問次數884
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北京銳潔機器人科技有限公司位于中國半導體行業中心地北京亦莊經濟技術開發區,是由優秀的留學歸國技術人員所創辦的高科技技術型企業。
  公司核心技術人員擁有在國內外半導體行業20年的實際從業經驗,能夠設計可用于半導體設備的各種自動化設備。公司當前的主力產品為小尺寸晶圓自動裝卸載系統以及日本潔凈機械手臂專業廠家JEL生產的各種潔凈機械手臂等。
  公司自主獨立研發的小尺寸晶圓自動裝卸載系統具有占地面積小、自動化程度高的特點,能夠有效的提高產線效率,降低生產成本; JEL公司生產的各種潔凈機械手臂具有潔凈度高、性價比優秀、穩定性好的特點,能夠滿足中國客戶需求,適合當前的中國市場。
  作為日本JEL公司在中國地區的*合作伙伴,我公司和JEL公司將持續不斷的為中國市場提供專業、高性價比的產品以及優質、快捷的服務。

小尺寸晶圓自動裝卸載系統以及日本潔凈機械手臂專業廠家JEL生產的各種潔凈機械手臂
2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂適用于半導體生產設備內部,檢測設備等小尺寸晶圓的搬運,通過優化機械手臂的空間尺寸,有利于實現設備的小型化。
2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂 產品信息

2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂適用于半導體生產設備內部,檢測設備等小尺寸晶圓的搬運,通過優化機械手臂的空間尺寸,有利于實現設備的小型化。可在工作臺上使用的小型機械手臂。

2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂

  • 同SSCR3115N-150-PM兼容,連桿式手臂,可以增加Z軸模塊
  • 可搬運重量:手臂第3關節處基準0.1kgf以下(只包含被搬運物)
  • 配備動作監視器
  • 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
  • 全軸使用2相步進電機
  • S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
  • 晶圓固定方式:真空吸附式,下托式
  • 手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
  • 可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供優的手指

    應用設備實例

    檢測設備

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