2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂適用于半導體生產設備內部,檢測設備等小尺寸晶圓的搬運,通過優化機械手臂的空間尺寸,有利于實現設備的小型化。可在工作臺上使用的小型機械手臂。
2軸圓柱坐標型潔凈機械手臂
- 同SSCR3115N-150-PM兼容,連桿式手臂,可以增加Z軸模塊
- 可搬運重量:手臂第3關節處基準0.1kgf以下(只包含被搬運物)
- 配備動作監視器
- 控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
- 全軸使用2相步進電機
- S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
- 晶圓固定方式:真空吸附式,下托式
- 手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
- 可以針對被搬運物體種類,設備布局等要求提供優的手指
應用設備實例
檢測設備