名稱： 酸開封機

 型號： RKD Elite Etch

 品牌： RKD

用途： 對器件進行開帽，DECAP

規格參數：

RKD Elite Etch是一臺自動混酸開封機，通過整合了*的特點使得它可以獲得更高的產能。新開封機的設計通過將硝酸、硫酸或混酸精確分配到器件上，可以更加快速和容易的打開精細的封裝，而不會損傷樣品。

RKD Elite Etch 酸開封機內包含了眾多工程創新。整體式刻蝕頭組件是由高等級的碳化硅加工而成，可以良好的用來抵抗酸腐蝕。再加上主動氮氣監測和清洗系統，這一整體設計可以在刻蝕后降低殘留在刻蝕頭上酸的發煙—而對于其它沒如此復雜的設計則是一種常見現象。我們這種整體碳化硅選夠縮短加熱時間。

器件壓制組件（壓桿芯頭）是由手動激活的，設計用于大量的運動。壓桿芯頭正常情況是縮回的，并且僅當安全蓋關閉后才伸出。壓桿芯頭的垂直移動保證器件穩定在刻蝕頭上，從而消除了無論是器件還是夾具的移動。

在每次開始和結束刻蝕程序后，安全蓋由手動關閉和打開。關閉安全蓋，開始已經編制好的刻蝕步驟的程序，打開安全蓋將停止所有刻蝕步驟。所有連接到刻蝕盤的酸管路由快速對稱壓力節點制成，以消除麻煩的高溫密封問題。

型系統配置

掌上型鍵盤

操作簡單不僅僅體現在RKD的軟件設計上，即軟件會持續檢查和保護系統防止操作失誤，而且體現在簡單而直觀的手持式鍵盤上。只需要簡單的培訓，凡是能夠使用手機的任何人員都可以操作運行Elite Etch開封機。

通風櫥的空間是非常珍貴的，所以我們設計了很小的占地面積，同時增強了每一個可能的安全特性。單獨的熱交換器的引入可以將廢酸溫度降低到90攝氏度以下，這允許進一步減小系統尺寸---我們僅僅使用一個廢酸瓶。

預見未來 軟件消除了廢酸瓶溢流的危險，可以防止Elite Etch在廢酸瓶沒有足夠的空間來完成編輯好的刻蝕程序時停止繼續操作。

RKD Engineering公司集成了雙控制用于所有液體在瓶容器和開封機之間進行耦合。內部連接是在特氟龍密封的管路內運行的，它可以由瓶子盒的任何一端來供給。瓶子容器裝置內包含了液體傳感器，當酸從任何一個瓶子中泄露后都會給操作員發出警告。Elite Etch開封機即能夠使用500ml美標瓶子，也可以使用日本標準的瓶子。

夾具和附件

Elite Etch能夠使用所有由B&G International (現在是Nisene Technology Group)提供的附件包、墊片和對準板。然而，為了顯著降低成本，并且永遠具有設計和切割適用于每一個和每一只器件類型的墊片和對準板的能力和優勢，我們建議使用 RKD Engineering的μMill. 這臺Mil的操作非常簡單，不需要機械工人的專業知識，就能夠快速的使用防酸的AFLAS聚合物材料加工完成高質量各種墊片。

系統安全

對于操作員來說，在任何開封機上更換酸瓶都具有一定的風險。我們已經設計裝配了一個通用旋轉鉸鏈使得更換瓶子時沒有任何麻煩。這一通用旋轉鉸鏈的詳細結構顯示如下。另外，瓶子通氣系統可以防止酸氣進入瓶子盒內。

系統規格參數

基本規格尺寸          (w x d x h)    

開封機                7.5 x 12.5 x 12 inch  190 x 318 x 305 mm              

瓶子組件              10 x 5 x 11 inch   254 x 127 x 279 mm

重量                  大約. 35 lbs.(16 Kg)

氣體壓力              55 - 70 psi. (N2) or CDA

電源                  90 - 250 VAC

酸溫度范圍            20℃- 250℃

酸溫度設定值          1.0℃- 0.1℃

刻蝕腔(可高達)        22 x 22 mm

軟件操作規格

酸的選擇 ：發煙硫酸/發煙硝酸/混酸

注意: 所有混合比例都是在泵系統內部動態準備的。

混酸比例 (硝酸到硫酸比例)：    9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1

刻蝕后沖洗選擇：發煙硫酸/發煙硝酸/混酸/無沖洗

注意: 酸的沖洗溫度設定是根據刻蝕溫度自動校準的。

刻蝕時間： 1 - 1,800 seconds ( 1秒的增加幅度)

注意: 刻蝕時間能夠在刻蝕期間動態調整。 

刻蝕形式 -              

(i) 脈沖刻蝕

(ii) 往復刻蝕 – 酸脈動

刻蝕溫度范圍 

20℃- 90℃ (硝酸)

20 - 250℃(硫酸)

20 - 100℃ (混酸)

刻蝕劑流量選擇 -

1 - 6 ml.每分鐘（所有酸和混酸）

操作程序存儲 -

100 個程序存儲，非易丟失存儲器

軟件升級

通過RS232或USB連接電腦

安全設計特點

EMO緊急停電源開關

刻蝕頭安全：超溫保護傳感器電路

泄露檢查傳感器：   (i) 開封機主體；(ii) 酸瓶盒組件

二級防護：真正的二級防護

酸煙霧降低：廢酸熱交換以最小化酸煙霧

認證和 &行業規范

RoHS

CE

SEMI S-2

SEMI S- 2, 93

系統維護

Elite Etch的日常系統維護是非常簡單并且是自執行的。通過從手持鍵盤控制器上選擇維護程序，大多數的維護程序都可以運行，包括 -

溫度校準

光學傳感器校準

閥的操作

壓鼻操作

低溫氣體供應和排出功能

(Elite Etch從不使用高或低壓調壓閥，它僅需直接連接到氮氣管路上。)

保修

符合銷售的離岸儀器標準條款。所有部件在正常操作條件下，并且正確執行了建議的預防性維護保養后，當出現工藝或材料損壞后，免費保修12個月。