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上海伯東美國進口考夫曼離子源 KDC 系列

參考價	￥ 840000
訂貨量	≥1臺

具體成交價以合同協議為準

公司名稱伯東企業（上海）有限公司
品牌其他品牌
型號
所在地上海市
廠商性質代理商
更新時間2023/4/11 11:53:55
訪問次數414

產品標簽:

考夫曼離子源離子源 KDC 聚焦型考夫曼離子源 KRI 離子源 KRI 考夫曼離子源

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公司介紹主營產品

伯東公司成立于1953 年，范圍內有一千七百名員工。伯東企業(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作，集團年營業額約為100億人民幣。伯東公司在國內主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設有營業據點。
上海伯東真空產品事業部秉承為廣大中國客戶提供進口真空產品、推動中國真空工藝發展、承擔企業社會責任為經營理念，已累計為超過10,000家企業提供真空服務，覆蓋工業、半導體、鍍膜、科研和分析行業。
上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統及配套真空零配件等。
上海伯東作為真空品牌**代理商，全權負責在中國地區的銷售和維修服務，* 使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師；擁有*的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務。

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德國 Pfeiffer 真空產品, 美國 inTEST 高低溫測試機, 美國 Ambrell 感應加熱, 美國 Polycold 冷凍機,美國 HVA 真空閥門

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上海伯東美國進口考夫曼離子源 KDC 系列, 加熱燈絲產生電子, 是典型的考夫曼型離子源, 增強設計輸出高質量, 穩定的電子流.

上海伯東美國進口考夫曼離子源 KDC 系列產品信息

美國 KRI 考夫曼離子源 Gridded KDC 系列
上海伯東美國進口考夫曼離子源 KDC 系列, 加熱燈絲產生電子, 是典型的考夫曼型離子源, 增強設計輸出高質量, 穩定的電子流.
美國 KRI 考夫曼公司新升級 Gridded KDC 系列離子源, 新的特性包含自對準離子光學和開關式電源控制. 考夫曼離子源 KDC 系列包含多種不同尺寸的離子源滿足各類應用. 考夫曼離子源 KDC 提供一套完整的方案包含考夫曼離子源, 電子中和器, 電源供應器等等可以直接整合在各類真空設備中, 例如實驗室小型研發, 鍍膜機, load lock, 磁控濺射系統, 卷繞鍍膜機和線性鍍膜.

美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 特性：
通過加熱燈絲產生電子
低電流高能量寬束型離子源

美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 應用：
輔助鍍膜(光學鍍膜) IBAD
濺鍍&蒸鍍 PC
表面改性, 激活 SM
沉積 DD
離子濺射沉積和多層結構 IBSD
離子蝕刻 IBE

美國 KRI 考夫曼離子源 KDC 技術參數：

型號	KDC 10	KDC 40	KDC 75	KDC 100	KDC 160
Discharge 陽極	DC 電流	DC 電流	DC 電流	DC 電流	DC 電流
離子束流	>10 mA	>100 mA	>250 mA	>400 mA	>650 mA
離子動能	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V
柵極直徑	1 cm Φ	4 cm Φ	7.5 cm Φ	12 cm Φ	16 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	1-5 sccm	2-10 sccm	2-15 sccm	2-20 sccm	2-30 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr
長度	11.5 cm	17.1 cm	20.1 cm	23.5 cm	25.2 cm
直徑	4 cm	9 cm	14 cm	19.4 cm	23.2 cm
中和器	燈絲

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項專li. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域, 上海伯東是美國考夫曼離子源中國總代理.

若您需要進一步的了解考夫曼離子源, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 羅先生