面對人形機器人產業對六維力傳感器和關節扭矩傳感器日益增長的需求,傳統手工生產方式已難以滿足規模化交付需求。相較于傳感器本身的技術復雜性,其自動化制造的工藝難度更為嚴峻。而傳統的應變片技術在實現自動化生產方面面臨更大挑戰。
在此背景下,鑫精誠傳感器基于微熔工藝的MEMS應變片技術為六維力傳感器的自動化生產提供了可行的解決方案。
為此,鑫精誠公司投資建設全自動化產線集群,集成微熔工藝、微納加工、AI視覺檢測等先進工藝。全力推進自動化生產線的規劃與建設。通過引入高度智能化的生產設備和精密的工藝流程,旨在實現生產效率的質的飛躍;同時,借助規模化生產的經濟效應,進一步壓縮單件產品的制造成本。

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“基于微熔工藝MEMS應變片技術”的六維力傳感器
可批量化自動生產
高剛性、抗過載、高壽命
結構解耦融合軟件解耦的雙重解耦技術
這種多方位的布局不僅能夠確保六維力傳感器在性能上滿足需求,還能在價格上更具競爭力,從而推動其在人形機器人領域的全面普及。與此同時,自動化生產線的建成還將顯著提升公司的產能上限,有效應對市場對大批量、高質量六維力傳感器的迫切需求,為人形機器人產業的快速發展注入強勁動力。
針對人形機器人對力覺感知系統的嚴苛要求,六維力傳感器和關節扭矩傳感器需突破三大核心性能挑戰:
1、高剛性
通過優化材料力學結構與內部應力分布,確保傳感器在動態運動與載荷傳遞中維持極小形變量,避免機械變形對力反饋精度的干擾,為精準的平衡控制與柔順操作提供基礎保障;
2、抗過載
能有效抵御突發碰撞和誤操作沖擊,保護核心應變體及敏感元件在惡劣載荷下的功能完整性;
3、高壽命
通過玻璃微熔工藝替代傳統有機粘合劑,解決了材料界面老化、環境侵蝕等問題,使傳感器能夠穩定應對高頻關節運動產生的交變應力,保障全生命周期內的測量一致性與可靠性。
MEMS應變計的靈敏度是普通金屬箔式應變計的35倍以上,因此基于MEMS技術的傳感器可以做到在抗過載性能和剛性方面的指標超過常規應變片傳感器的10倍以上,確保了在嚴苛工況下的可靠性。

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“基于微熔工藝MEMS應變片技術”的關節扭矩傳感器
交叉載荷自補償技術,可將交叉載荷帶來的串擾誤差控制在0.5%以下
高剛性、抗過載、高壽命
結構解耦融合軟件解耦的雙重解耦技術
此外基于玻璃微熔的工藝又避免了常規有機粘接劑的長期穩定性差的問題,大幅提高了傳感器的使用壽命。
在這場由材料科學與智能制造驅動的技術革新中,鑫精誠傳感器通過玻璃微熔 MEMS 應變片技術與全自動化產線的深度融合,為人形機器人的力覺感知系統提供了兼具高性能與經濟性的解決方案。
這種高剛性、抗過載、長壽命的傳感器技術,不僅突破了傳統應變片在動態響應與環境適應性方面的局限,更通過規模化生產顯著降低了核心部件成本,為機器人從工業場景向服務、醫療等領域的滲透提供了關鍵支撐。
關鍵詞:機器人
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