德國inficon熱電離真空計BAG552

對于需要獨立熱離子計技術的應用，Trigon™ 系列包括單一技術 Bayard-Alpert 熱離子計 BAG552。

BAG552 設計用于壓力范圍為 5 × 10 -10  ... 2 x 10 -2  mbar 的氣體真空測量。支持的雙燈絲提供BAG552的精度、可重復性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列VGC501、VGC502、VGC503結合使用。

inficon熱電離真空計BAG552優點

2 üPure Bayard-Alpert 測量系統適用于較寬的 UHV 和 HV 測量范圍

2 ü2 條用于 Bayard-Alpert 系統的燈絲

2 ü電隔離電子器件以避免雜散電流

2 ü滑動排放模式可避免切換排放流時壓力跳躍和凍結

2 ü由于可拆卸校準數據芯片，可烘烤性更長

2 ü設定點繼電器

2 ü明亮、大尺寸 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉），帶用戶界面

2 ü模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®

2 ü可與 VGC50x 控制器系列結合使用

2 üRoHS 合規性

inficon熱電離真空計BAG552典型應用

ü ·半導體工藝中的壓力測量

ü ·工業涂料

ü ·高真空至BAG552真空范圍系統的一般真空測量和控制

inficon熱電離真空計BAG552規格

測量范圍（空氣、O 2、CO、N 2）: 5 × 10 -10 … 2 × 10 -2毫巴

準確性:  

1 × 10 -8 … 2 × 10 -2毫巴: ±15 讀數

重復性: 讀數的 5%，10 -8 … 2 × 10 -2 mbar（穩定 10 分鐘后）

暴露于真空的材料: 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢