德國inficon高溫壓力計CDG200D
inficon高溫壓力計CDG200D功能簡介:
INFICOSKY CDG200D 高溫壓力計是實現精確總壓測量與控制的理想之選。CDG200D 真空計溫度控制在 200 °C,具有的性能,適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現場總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數壓力信號。INFICO電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優勢。INFICOCDG 壓力傳感器品質,成本效益,適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。
inficon高溫壓力計CDG200D優點
ü 擁有成本更低,預熱速度快 50%,節能,低功耗
ü 易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標配兩個設定點
ü 輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令,可調零點偏移
ü 診斷端口便于快速服務與維護
ü 兩年保修服務、加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
ü 信號穩定性和可重復性,即使是最嚴苛的等離子應用,都無需長期執行重新校準
ü 合規和標準:CE、EN、UL、SEMI、RoHS
inficon高溫壓力計CDG200D典型應用
ü ECT、CTD、PVD和其他半導體生產工藝
ü 化學和腐蝕性高溫過程
ü 一般薄膜和真空工藝,需要儀表保護
inficon高溫壓力計CDG200D規格
? 準確性閱讀%:0.4
? 精度%:0.003
? 輸出信號(模擬)V (dc):0.. +10
? 響應時間:30ms
? 暴露于真空的材料:Aluminum oxide ceramic (AI?O?), stainless steel (AISI 316L )
inficon高溫壓力計CDG200D產品料號
inficon高溫壓力計CDG200D外形尺寸:
inficon高溫壓力計CDG200D料號明細:
3CF1-651-2300 CDG200D 1 Torr; 16-KF
3CF1-651-230B CDG200D 1 Torr; 16-KF
3CF1-651-2320 CDG200D 1 Torr; 16-KF; P-Bus
3CF1-653-2300 CDG200D 1 Torr; 16-CF-R
3CF1-653-2320 CDG200D 1 Torr; 16-CF-R; P-Bus
3CF1-653-23G0 CDG200D 1 Torr; 16-CF-R; EtherCAT
3CF1-659-2300 CDG200D 1 Torr; 1/2"?
3CF1-65E-2300 CDG200D 1 Torr; 8-VCR
3CF1-65E-230B CDG200D 1 Torr; 8-VCR
3CF1-65E-2310 CDG200D 1 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-65E-23G0 CDG200D 1 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-65E-23GB CDG200D 1 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-65H-2300 CDG200D 1 Torr; 8-VCR long
3CF1-65H-230B CDG200D 1 Torr; 8-VCR long
3CF1-661-2300 CDG200D 1 mbar; 16-KF
3CF1-661-2320 CDG200D 1 mbar; 16-KF; P-Bus
3CF1-661-2380 CDG200D 1 mbar; 16-KF; EtherCAT
3CF1-663-2300 CDG200D 1 mbar; 16-CF-R
3CF1-751-2300 CDG200D 2 Torr; 16-KF
3CF1-75E-2300 CDG200D 2 Torr; 8-VCR
3CF1-75E-230B CDG200D 2 Torr; 8-VCR
3CF1-75H-2300 CDG200D 2 Torr; 8-VCR long
3CF1-851-2320 CDG200D 5 Torr; 16-KF; P-Bus
3CF1-85E-2300 CDG200D 5 Torr; 8-VCR
3CF1-861-2300 CDG200D 5 mbar; 16-KF
3CF1-861-2320 CDG200D 5 mbar; 16-KF; P-Bus
3CF1-951-2300 CDG200D 10 Torr; 16-KF
3CF1-951-230B CDG200D 10 Torr; 16-KF
3CF1-953-2300 CDG200D 10 Torr; 16-CF-R
3CF1-953-230B CDG200D 10 Torr; 16-CF-R
3CF1-953-2320 CDG200D 10 Torr; 16-CF-R; P-Bus
3CF1-959-2300 CDG200D 10 Torr; 1/2"?
3CF1-95D-2300 CDG200D 10 Torr; 4-VCR female
3CF1-95E-2300 CDG200D 10 Torr; 8-VCR
3CF1-95E-230B CDG200D 10 Torr; 8-VCR
3CF1-95E-2310 CDG200D 10 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-95E-231B CDG200D 10 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-95E-2380 CDG200D 10 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-95E-238B CDG200D 10 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-95E-23G0 CDG200D 10 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-95E-23GB CDG200D 10 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-95H-2300 CDG200D 10 Torr; 8-VCR long
3CF1-95H-230B CDG200D 10 Torr; 8-VCR long
3CF1-95H-2310 CDG200D 10 Torr; 8-VCR-long; D-Net
3CF1-961-2300 CDG200D 10 mbar; 16-KF
3CF1-96E-2300 CDG200D 10 mbar; 8-VCR
3CF1-A51-23G0 CDG200D 20 Torr; 16-KF; EtherCAT
3CF1-A53-2300 CDG200D 20 Torr; 16-CF-R
3CF1-A53-230B CDG200D 20 Torr; 16-CF-R
3CF1-A5E-2300 CDG200D 20 Torr; 8-VCR
3CF1-A5E-230B CDG200D 20 Torr; 8-VCR
3CF1-A5E-231B CDG200D 20 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-A5E-2380 CDG200D 20 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-A5E-23E0 CDG200D 20 Torr; 8-VCR; 4-20mA
3CF1-A5E-23G0 CDG200D 20 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-A5E-23GB CDG200D 20 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-B5E-231B CDG200D 50 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-B5E-23GB CDG200D 50 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-C51-2300 CDG200D 100 Torr; 16-KF
3CF1-C51-230B CDG200D 100 Torr; 16-KF
3CF1-C53-2300 CDG200D 100 Torr; 16-CF-R
3CF1-C53-230B CDG200D 100 Torr; 16-CF-R
3CF1-C5C-2300 CDG200D 100 Torr; 4-VCR-m
3CF1-C5E-010B CDG200D 100 Torr; 8-VCR; 9 pin D-Sub
3CF1-C5E-2300 CDG200D 100 Torr; 8-VCR
3CF1-C5E-230B CDG200D 100 Torr; 8-VCR
3CF1-C5E-2310 CDG200D 100 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-C5E-231B CDG200D 100 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-C5E-23G0 CDG200D 100 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-C5E-23GB CDG200D 100 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-C61-2300 CDG200D 100 mbar; 16-KF
3CF1-C61-2320 CDG200D 100 mbar; 16-KF; P-Bus
3CF1-C61-232B CDG200D 100 mbar; 16-KF; P-Bus
3CF1-C6E-2300 CDG200D 100 mbar; 8-VCR
3CF1-D5E-2380 CDG200D 200 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-D5E-23G0 CDG200D 200 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-D5E-23GB CDG200D 200 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-E5E-2300 CDG200D 500 Torr; 8-VCR
3CF1-E5E-230B CDG200D 500 Torr; 8-VCR
3CF1-E5E-2310 CDG200D 500 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-E5E-2310C CDG200D 500 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-E5E-23G0 CDG200D 500 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-F51-2300 CDG200D 1000 Torr; 16-KF
3CF1-F51-230B CDG200D 1000 Torr; 16-KF
3CF1-F51-2320 CDG200D 1000 Torr; 16-KF; P-Bus
3CF1-F53-23G0 CDG200D 1000 Torr; 16-CF-R; EtherCAT
3CF1-F59-2300 CDG200D 1000 Torr; 1/2"?
3CF1-F5C-2300 CDG200D 1000 Torr; 4-VCR male
3CF1-F5E-0100 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; 9 pin D-Sub
3CF1-F5E-2300 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR
3CF1-F5E-230B CDG200D 1000 Torr; 8-VCR
3CF1-F5E-2310 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-F5E-231B CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; D-Net
3CF1-F5E-23E0 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; 4-20mA
3CF1-F5E-23G0 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-F5E-23GB CDG200D 1000 Torr; 8-VCR; EtherCAT
3CF1-F5H-2300 CDG200D 1000 Torr; 8-VCR long
3CF1-G61-2300 CDG200D 1100 mbar; 16-KF
3CF1-G63-2300 CDG200D 1100 mbar; 16-CF
3CF1-G6E-2300 CDG200D 1100 mbar; 8-VCR
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