EMCCD技術,有時也被稱作"片上增益"技術,是一種全新的微弱光信號增強探測技術,它與普通的科學級CCD探測器的主要區別在于其讀出(轉移)寄存器后又接續有一串"增益寄存器",它的電極結構不同于轉移寄存器,信號電荷在這里得到增益。
EMCCD屬于幀轉移CCD,其工作模式分為5個步驟:
①在積分周期內,成像區將光子轉化為電荷;
②成像區電荷轉移到存儲區;
③存儲區電荷轉移到讀出寄存器;
④讀出寄存器電荷轉移到倍增寄存器,并在其中使電子倍增;
⑤倍增后的電荷通過低噪聲讀出放大器轉換成電壓輸出。
以上的5個步驟中,與普通CCD不同之處在于第(4)步中,在倍增寄存器上施加了約50v的電壓,當電子通過時會產生碰撞電離效應產生電子-空穴對。
這樣,經過多次累加,實現信號電子的倍增。EMCCD總共約有600級轉移,大增益可達1000倍甚至5000倍。
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