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BALLUFF傳感器的量程與哪些因素有關(guān)
BALLUFF傳感器是外界的壓力(或拉力)引起應(yīng)變材料的幾何形狀(長度或?qū)挾龋┌l(fā)生改變,進而導(dǎo)致材料的電阻發(fā)生變化。檢測這個電阻變化量可以測得外力的大小。壓阻式壓力傳感器通常是半導(dǎo)體壓敏材料。半導(dǎo)體壓阻式傳感器在受到外力后,自身的幾何形狀幾乎沒有什么改變,而是其晶格參數(shù)發(fā)生改變,影響到禁帶寬度。禁帶寬度哪怕是非常微小的改變,都會引起載流子密度很大的改變,這zui終引起材料的電阻率發(fā)生改變。可見兩種材料雖然都對外力變化呈現(xiàn)出電阻的變化,但原理不同。另外,應(yīng)變式材料對外力的敏感度遠遠低于半導(dǎo)體壓阻材料,后者的靈敏度是前者的約100倍;應(yīng)變材料特性受溫度影響較小,而半導(dǎo)體壓阻材料對溫度敏感。
BALLUFF傳感器主要由兩個半環(huán)形磁鋼組成的梯度磁場和位于磁場的鍺材料半導(dǎo)體霍爾片(敏感元件)裝置構(gòu)成。此外,還包括測量電路(電橋、差動放大器等)及顯示部分。是兩個結(jié)構(gòu)相同的直流磁路系統(tǒng)共同形成一個沿x 軸的梯度磁場。為使磁隙中的磁場得到較好的線性分布,在磁面裝有特殊形式的極靴。用它制作的位移傳感器靈敏度很高。霍爾片置于兩個磁場中,細(xì)心調(diào)整它的初始位置,即可使初始狀態(tài)的霍爾電勢為零。它的位移量較小,適于測量微位移和機械振動等。當(dāng)霍爾元件通以恒定電流時,在其垂直于磁場和電流的方向上就有霍爾電勢輸出。霍爾元件在梯度磁場中上、下移動時,輸出的霍爾電勢V 取決于其在磁場中的位移量x。測得霍爾電勢的大小便可獲知霍爾元件的靜位移。
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