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青島奧吉自動化設備有限公司
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尼康CNC影像測量儀NEXIVVMZ-S4540產品特點1.高產能「NEXIVVMZ-S」系列在高精度線性光柵尺和精密載物臺提供高精度測量的同時，通過載物臺移動和圖像處理的高速化，與以往機型「NEXIVVMZ-R」系列產品相比，實現了更高的產能
尼康CNC影像測量儀NEXIV VMZ-S4540
產品特點
「NEXIV VMZ-S」系列在高精度線性光柵尺和精密載物臺提供高精度測量的同時，通過載物臺移動和圖像處理的高速化，與以往機型「NEXIV VMZ-R」系列產品相比，實現了更高的產能。在保證了客戶的精度和再現性的同時，縮短了測量時間。
通過無失真的高品質圖像，即使不在視野中心附近也能得到可靠的測量結果。另外，根據被檢測物品的形狀通過同軸表面光、底部透射光、8個扇面環形光的選擇與光量?照射方向的調整，可以敏銳的捕捉到難以檢測的邊緣。并且，通過1000點/秒的高速激光掃描，可以取得樣品的截面形狀，也可以對應高度方向的輪廓評價。滿足各種各樣零部件的測量需求。
通過系列產品通用的尺寸測量軟件「AutoMeasure」，可以暢快有效地進行尺寸測量。另外，以簡單形狀為對象，增加了將測量程序制作工序的一部分自動化的功能。
而且，為了滿足使用NEXIV系列顧客的要求，用于操控載物臺和測量頭移動的操縱桿單元，運用了更易操作的設計。
使用遠程操控解決方案軟件「Remote Control SDK」（另外采購），通過網絡可以遠程操控最多10臺「NEXIV」?？梢詮倪h離現場的控制室或辦公室等處遠程控制「NEXIV」機臺，做到統一的測量和數據管理，以達到減少人員配置，提高生產效率的目的。
5.與自動傳輸系統結合，實現自動傳輸及自動測量
特別在半導體領域，生產車間無人化、自動化的趨勢推動了對尺寸測量的自動化需求。「NEXIV VMZ-S」系列產品通過與本公司制造或其他公司制造的晶圓自動傳輸系統結合，支持從半導體晶圓的傳輸到測量的自動化。
| | 「NEXIV VMZ-S4540」 | 「NEXIV VMZ-S6555」 |
| 量程（X × Y × Z） | 450 × 400 × 200 mm（TZ型使用低倍物鏡時：400 × 400 × 200 mm） | 650 × 550 × 200 mm（TZ型使用低倍物鏡時：600 × 550 × 200 mm） |
| 最小讀數 | 0.01 μm | |
| 承載重量 | 40 kg（保證精度的載重：20 kg） | 50 kg（保證精度的載重：30 kg） |
| 測量精度 (L為測量 長度(㎜）) | EUX,MPE, EUY,MPE(X軸、Y軸精度) : 1.2+4L/1000μm EUXY,MPE（XY軸精度）: 2.0+4L/1000μm EUZ,MPE （Z軸精度）: 1.2+5L/1000μm | |
| 相機 | 黑白/彩色1/3英寸CMOS | |
| 變焦鏡頭型號* （倍率?視場） | ?1型：（0.5～7.5x? 9.33 x 7～0.622 x 0.467mm） ?2型：（1～15x ?4.67 x 3.5～0.311 x 0.233mm） ?3型：（2～30x ? 2.33 x 1.75～0.155 x 0.117mm） ?4型：（4～60x ?1.17 x 0.88～0.078 x 0.058mm） ?TZ型 ：（1～120x?4.67 x 3.5～0.039 x 0.029mm） ?A型：（0.35～3.5x?13.3 x 10～1.33 x 1mm） | |
| 自動對焦 | 激光自動對焦（A型是選配）、圖像自動對焦 | |
| 照明*1 | ?1～4型: 同軸表面光、底部透射光、8個扇面的環形光 （全部采用白色LED光源/1, 2, 3型3種角度、4型1種角度） ?TZ型: 同軸表面光、底部光(VMZ-S3020的低倍除外)、暗場照明 ?A型: 同軸表面光、底部光、8個扇面的環形光 （全部采用白色LED光源/1種角度） | |
| 電源規格/額定電流 | AC100-240V、50/60Hz / 4A – 2A | |
| 尺寸*2 (W×D×H/重量) | 本體+底座: 1000 × 1340 × 1818 mm /約510 kg 控制箱:190 × 450 × 450 mm /約12 kg | 本體+底座: 1200 × 1640 × 1818 mm /約740 kg 控制箱:190 × 450 × 450 mm /約12 kg |
| 占地大小（W×D） | 3000 × 3000 mm | 3200 × 3300 mm |
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