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該傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器;兩個(gè)傳感器板形成一個(gè)平行板電容器,每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不同的測(cè)量范圍;納米分辨率;零磁滯。
應(yīng)用領(lǐng)域
壓電微位移、振動(dòng)臺(tái),電子顯微鏡微調(diào),天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào),精密微位移測(cè)量等。
主要特點(diǎn)
◆
量程20~1250μm;
◆
分辨率<0.1nm;零磁滯;
◆
線性zui高0.02%;
◆
頻帶可調(diào):50~5000Hz;靈敏度可調(diào);
◆
真空兼容選項(xiàng);
雙極性電容傳感器工作示意圖
相關(guān)產(chǎn)品
ZLDS200激光二維掃描傳感器 ZLDS10X可定制激光位移傳感器 KD2306高性能電渦流位移傳感器 技術(shù)規(guī)格
安裝尺寸
傳感器型號(hào)
ZNXA
ZNXB
ZNXC
ZNXD
小量程μm
-
20
100
250
靈敏度μm/V
-
2
10
25
噪音nm rms Hz-1/2
-
<0.001
<0.005
<0.013
溫漂nm/K
-
1
4.4
11
線性度%
-
<0.08
<0.03
<0.06
大量程μm
50
100
500
1250
靈敏度μm/V
5
10
50
125
噪音nm rms Hz-1/2
<0.08
<0.015
<0.075
<0.188
溫漂nm/K
2.2
4.4
22
55
線性度%
<0.08
<0.08
<0.05
<0.06
頻響Hz
50/500/5000
控制器型號(hào)
NS2000
NPS2110
S2000和NS模塊
NPS3330
傳感器通道zui大個(gè)數(shù)
1
1
14
3
供電
±15V,70mA
90~130V或220~260V
90~110V或110~130V或220~260V
90~260V
模擬輸出V
±5
±5
±5
數(shù)字輸出
16位(可選)
7位浮點(diǎn)數(shù)
頻響KHz
5
5
5
12.5
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