一、背景介紹
隨著美國對中國芯片行業的商業制裁,中國政府大力推動本土半導體制造行業的發展,中國的半導體制造行業存在著不斷增長的利潤空間。為了提高國內半導體制造產線數據收集,分析,管理和智能排產等能力,半導體制造規范化并與國際標準接軌成為必需。SEMI(國際半導體產業協會)為半導體制造設備提供了完整的SECS/GEM協議標準。該協議因具有降低設備集成成本,適用于所有制造設備,可以支持無數的應用程序,而獲得業界的大力支持。很多大企業如三星,英特爾,東芝等90年代開始就使用SECS/GEM為基礎的全自動化產品。中國企業的SECS/GEM產品需求也在國產化的大環境下在逐年上升。
SECS/GEM標準協議是由國際半導體設備與材料協會(SEMI)制定的“設備 - 主機”的連接標準, 也是被眾多類型半導體設備泛采用的標準,它定義了消息,狀態機和應用場景,使得工廠軟件能夠實現半導體設備的自動化控制和監督,節約成本并提高制造良率。
二、產品介紹-產品概覽
應用方向:
(1)SECS/GEM協議通訊接口庫軟件
(2)SECS/GEM協議設備數據轉發軟件
(3)半導體工廠設備數據采集平臺
1、產品介紹-KingExGem 驅動
當前版本:KingExGem 1.0
上線時間:2021年9月
軟件定義:KingExGem是支持SECS/GEM協議通訊的服務型接口庫。
軟件功能:KingExGem為半導體設備軟件或主機軟件提供C++或C#語言的API。它可以幫助設備供應商為半導體設備快速開發的SECS/GEM協議通訊接口,以便接入到半導體產線中。它也可以幫助半導體制造企業為工廠自動化系統快速開發SECS/GEM協議通訊接口,實現與半導體設備的標準化接口通訊。
目標用戶:需求開放SECS/GEM協議通訊接口的半導體設備供應商,需求實施產線自動化的半導體制造工廠業主,無SECS/GEM通訊接口的EAP或MES的實施商。
KingExGem主要特征:
(1)支持 SEMI E5(SEC-II), E30(GEM), E37(HSMS);
(2)支持多種GEM場景自動管理;
(3)支持多線程異步調用API;
(4)支持多遠程端口通訊。
(5)支持SECS 消息自定義
2、產品介紹-KingSecsGemTransmitter 轉發工具
當前版本:KingSecsGemTransmitter 2.0
開發完成時間:2020年1月
登記號:2020SR0415262
軟件定義:KingSecsGemTransmitter是支持SECS/GEM協議通訊的數據轉發軟件。
軟件功能:KingSecsGemTransmitter為半導體設備軟件提供SECS/GEM協議通訊接口的數據轉發服務,使設備軟件能夠間接地和主機軟件通訊。它擔任通訊的橋梁,一端通過多種通訊接口(OPC DA, OPC UA, Web Service, API, Restful等)連接設備軟件或硬件,一端通過SECS/GEM協議通訊接口連接主機軟件,間接地實現設備SECS/GEM協議通訊接口的開放。它極大的縮短開發周期,是更為便捷的通訊方案,對缺乏軟件開發團隊的設備供應商來說是個極大的利好。同時,支持多設備數據集成轉發的特性市場空白。目前為止,它已協助多個設備商實現通訊接口快速開發并接入產線。
目標用戶:需求開放SECS/GEM協議通訊接口的半導體設備供應商,需求舊設備改造SECS/GEM通訊接口的半導體制造工廠。
KingSecsGemTransmitter主要特征:
(1)支持SEMI E5(SECS-II), E30(GEM)和E37(HSMS);
(2)支持OPC DA, OPC UA, Web Service, API和Restful等接口對接數據源;
(3)支持多設備數據集成轉發和多SECS/GEM連接接口;
(4)支持SEMI E84 設備硬件協議解決方案
3、產品介紹-KingIOServerSecsGem 采集驅動
當前版本:KingIOServerSecsGem 2.0
開發完成時間:2020年1月
登記號:2020SR0362270
軟件定義:KingIOServerSecsGem是支持SECS/GEM協議通訊的設備數據采集驅動軟件。
軟件功能:KingIOServerSecsGem搭載于的數據采集平臺KingIOServer或KingView,它可以協助通訊平臺與設備按照SECS/GEM標準接口通訊,是保證EAP穩定高效通訊的基礎。
目標用戶:需求實施產線自動化的半導體制造業主。
KingIOServerSecsGem主要特征:
(1)支持SEMI E5(SECS-II), E30(GEM)和E37(HSMS);
(2)支持自動創建點表;
(3)提供SECS指令交互方案;
(4)支持SECS消息拓展;
(5)提供MES數據推送方案