高利通生產(chǎn)的INF1000A涂層厚度測(cè)量?jī)x利用光干涉原理實(shí)現(xiàn)涂層材料厚度非破壞性測(cè)試方法,即通過測(cè)量光的相位差,利用干涉原理確定兩個(gè)表面之間的距離,從而計(jì)算出涂層的厚度。
在測(cè)量過程中,一束寬光譜光從空氣中射入涂層表面,由于涂層的存在,光束被涂層的上下表面多次反射形成的多個(gè)光束疊加后,形成了干涉條紋。
具體來說,干涉條紋的相位差與被測(cè)物體表面涂層的厚度和折射率有關(guān)。當(dāng)涂層厚度發(fā)生變化時(shí),其不同表面的反射光的光程差發(fā)生了變化,從而導(dǎo)致干涉條紋相位的改變。根據(jù)干涉條紋相位的變化,可以計(jì)算出涂層厚度和折射率。
●穩(wěn)定性、可靠性更強(qiáng),分析更加準(zhǔn)確
●軟件控制儀器,功能完善,操作便捷和維護(hù)方便
●優(yōu)異的一致性
項(xiàng)目 | 指標(biāo) | 備注 |
測(cè)量范圍 | 1μm-100μm | |
分辨率 | 1μm | |
測(cè)量數(shù)據(jù)顯示位數(shù) | 0.001μm | |
采樣速率 | 100HZ | |
移動(dòng)臺(tái)行程 | 55X60mm | |
供電 | AC220V/50HZ | |
能耗 | 21.25W | |
重量 | ≈6Kg | |
工作溫度 | -10℃-50℃ | |
存儲(chǔ)溫度 | -20℃-70℃ | |
工作濕度 | ≤80%RH |