測量MEMS系統的3D動態特性及形貌特性
表面形貌、動態特性分析及可視化是顯微結構(如MEMS器件)進行測試和開發的關鍵。這對于驗證有限元算法、確定串擾影響和測量表面形變等都至關重要
亮點
- 專用于顯微結構的一體化光學測量工作站
- 真正的實時測量(無需數據后處理)
- 亞pm級的位移分辨率
- 快速測量,振型可視化
- 操作簡便、直觀
- 自動化測試系統,易于集成至探針臺
- Import / export options for FE model validation
基于MEMS系統的一體化光學測量解決方案
基于MEMS系統的MSA-600顯微式激光測振儀,集多種測量功能于一體,其不僅能測量面內振動和面外振動,還能測量表面形貌。系統具有的靈活性和精度,以滿足顯微結構未來的發展需要。顯微式激光測振儀可提供精確的三維動態和靜態響應數據,在降低開發和制造成本的同時提高產品性能,從而縮短設計周期,簡化故障處理,提高產品產量。
高性能激光多普勒測振儀能快速進行實時測量,位移分辨率達亞pm級。白光干涉儀可以在幾秒鐘內提供數以百萬計的三維表面形貌數據。MSA-600的用戶界面直觀,操作簡便,是一款用于研究、開發和質量控制的功能強大的光學測量系統。系統易于集成至常見的商用探針臺上,從MEMS原型設計到測試和故障排除,其能在各個開發階段給您提供幫助,從而降低生產成本并縮短產品上市時間。