P-725.xCDE2 用于顯微鏡物鏡的PIFOC聚焦掃描儀®
動態掃描,行程范圍為 100 μm、400 μm 或 800 μm
PI聚焦掃描儀P-725.xCDE2特點
行程范圍 100 μm、400 μm 或 800 μm
響應速度明顯快,使用壽命明顯優于電動驅動器
亞納米分辨率鏡頭的精細定位
使用電容式傳感器進行直接位置測量:最高線性度
與變形成像軟件兼容
? 29 mm 的大自由光圈
PI聚焦掃描儀P-725.xCDE2應用
超分辨率顯微鏡
光片顯微鏡
共聚焦顯微鏡
2光子顯微鏡
3D 成像
篩分
干涉
測量
自動對焦系統
生物工藝學
半導體檢測
PI PICMA 壓電陶瓷促動器具有出色的使用壽命
PICMA壓電陶瓷促動器是陶瓷絕緣的。這可以保護它們免受由于泄漏電流增加而導致的潮濕和故障的影響。PICMA促動器的使用壽命是傳統聚合物絕緣致動器的十倍。已經證明了 100 億次循環,沒有一次故障。
帶電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行非接觸式測量。它們保證了出色的運動線性度、高長期穩定性和 kHz 范圍內的帶寬。
通過無間隙固態接頭導向裝置實現高導向精度
固態接頭導軌免維護、無摩擦、無磨損,不需要潤滑劑。它們的剛性使其具有很高的彈性,對沖擊載荷和振動不敏感。它們在很寬的溫度范圍內工作。
PI P-725.1CDE2技術參數
活動軸 Z
在Z中旅行 100 µm
Z 軸行程范圍,不受管制 120 µm
Z 軸線性偏差 0,01 %
偏航 (在Z軸中移動時以 @x 為單位的旋轉串擾) ± 10 µrad
傾斜 (在 Z 軸中移動時以 eY 為單位的旋轉串擾) ± 10 µrad
Z 軸上的最小步長 1 nm
點重復性,10% 增量,1 西格瑪 10 nm
內置傳感器 電容式直接位置測量
傳感器噪聲,1 西格瑪 0,2 nm
Z軸位置噪聲 0,1 nm
Z 軸中 10% 步進的建立時間 14 ms