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GFM 系列氣體質量流量計結合一個直線管狀傳感器和一個限制流體分子的控制器來提供高精度和重復性。流量比率是虛擬化的不受溫度和壓力變化的影響。實際流量將以工程單位顯示在3位數字，90°旋轉的液晶顯示屏上。本系列可以與GFT系列流量累計器一起以用于需要測定流量累計的場合。GFM系列產品包括一份NIST跟蹤記錄證書。
規格
介質：與接液部件兼容的清潔氣體
接液材質： GFM-1XXX: 陽極氧化鋁, 銅, 316不銹鋼 和Viton® O型密封圈;
GFM-2XXX: 316不銹鋼 和Viton® O型密封圈
精度： 滿量程時±1.5%包括線性以上59-77°F (5-25°C) 和5-60psia (0.35-4bar)
重復性： 滿量程的±0.5%
反應時間： 實際流量的±2%以內是2秒
輸出： 線性0-5VDC和4-20mA
微粒尺寸： 5微米
工作溫度： 32-122°F (0-50°C)
電源： ±12VDC
過程連接： 流速≤50L/m壓縮接頭是1/4 英寸；100和200L/m是3/8英寸；500L/m是1/2英寸；1000L/m是3/4英寸
壓力范圍： 500psig(34.5bar)
泄漏率： 氦氣的1 x 10-7 sccs
顯示器： 90°可傾斜，3-1/2數字
認證： CE
型號
| 流量范圍 | 流量計 | |
| 鋁 | 不銹鋼 | |
| 0-10 SCCM | GFM-1101 | GFM-2101 |
| 0-20 SCCM | GFM-1102 | GFM-2102 |
| 0-50 SCCM | GFM-1103 | GFM-2103 |
| 0-100 SCCM | GFM-1104 | GFM-2104 |
| 0-200 SCCM | GFM-1105 | GFM-2105 |
| 0-500 SCCM | GFM-1106 | GFM-2106 |
| 0-1 L/min | GFM-1107 | GFM-2107 |
| 0-2 L/min | GFM-1108 | GFM-2108 |
| 0-5 L/min | GFM-1109 | GFM-2109 |
| 0-15 L/min | GFM-1111 | GFM-2111 |
| 0-30 L/min | GFM-1131 | GFM-2131 |
| 0-50 L/min | GFM-1133 | GFM-2133 |
| 0-100 L/min | GFM-1142 | GFM-2142 |
| 0-200 L/min | GFM-1143 | GFM-2143 |
| 0-500 L/min | GFM-1144 | GFM-2144 |
| 0-1000 L/min | GFM-1145 | GFM-2145 |
流量量程是由當氮氣在70°F (21°C)@760mmHg的條件下標定的
附件
GFM系列氣體質量流量計
型號GFM-110P,110V電源
型號GFM-220PE,220V電源
型號GFM-CBL4, 3英尺長電纜用于4-20mA輸出
型號GFM-CBL5, 3英尺用于0-5VDC輸出的延長電纜
型號IO-1,0-5VDC的RS232輸入到輸出信號調節裝置
