高頻等離子清洗機/SAT-5D

技術特點：

1.艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料，耐用、防腐容易清潔。

2.儀器實現了手動，自動兩種模式任意切換的工作方式，方便用戶實驗

3.儀器實現了程序化設計，預先編輯好程序，儀器可以自動完成實驗

4.無需任何耗材使用成本低，無需特殊進行維護,日常使用保持儀器清潔即可

5.電容式等離子激發，處理效果均勻，激發電極板內置樣品倉內頂部懸掛

6.密閉真空環境下完成實驗避免二次污染

7.13.56Mhz射頻電源,掃頻自動匹配，穩定可靠，具有自動保護功能。

8.靈活的參數設置和修改功能，可適應多種處理工藝。

9.采用皮拉尼真空技術，實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度，具有1Pa的真空分辨率，能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀，實現對氣體流量和真空度的精準控制和監測。

10. 液晶屏+薄膜數字按鍵控制方式，操作直觀簡單穩定可靠。

高頻等離子清洗機/SAT-5D

技術規格參數