全自動氦質譜檢漏儀

JL-142W(D)型是一款液晶觸摸

彩屏顯示的全自動氦質譜檢漏儀。主

要配置采用檢漏儀定制產品。設備內

芯的制造借鑒技術，整機設

置合理、性能穩定。具有靈敏度高，

反應快，開機時間短等特點。檢漏效

果達到水平。

主要技術指標

1、真空模式小可檢漏率：5×10 -13Pa•m3 /s（5×10 -12mbal/s）

真空模式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -13Pa•m3 /s

2、吸槍模式小可檢漏率：5×10 -9Pa•m3 /s（5×10 -8mbal/s）

吸槍模式漏率顯示范圍：1×10 -1—1×10 -10Pa•m3 /s

3、啟動時間：≤3min

4、響應時間：≤0.5s

5、檢漏口的壓力：1500Pa

6、電源要求：220v，50Hz，單相，10A

7、工作環境：5-35℃

9、相對濕度：≤80%

9、外形尺寸：500（W）×400（D）×380（H）

10、重量：W 型 42kg，D 型 22kg

主要配置

1、德國普發檢漏儀分子泵（*）

2、W 為油式機械泵，D 為干式機械泵

3、定制檢漏儀電磁閥

4、閥體

5、原裝晶圓放大器

6、采用質譜模塊

7、液晶觸摸彩屏

8、雙燈絲（氧化釔金絲），自動調氦峰，自動切換