品牌：日本TAITEC

氟作為專用熱媒、控制循環裝置加熱溫度
窗體底端
窗體頂端
主要用途
●半導體制造裝置的加熱溫度控制
●化學制品的生產系統加熱溫度控制

主要特點
氟作為專用熱媒，控制高溫度領域
氟作為熱媒介專用設計，可在＋70℃～＋200℃的高溫度內準確的控制加熱溫度(冷卻用途不能使用)。
無液漏之憂的泵，通過逆變器進行控制
使用了磁鐵耦合型密封泵，無液體泄漏。
可短時間內降溫
冷卻線圈中一次冷卻水在循環時，維修保養時可在短時間降低溫度。
技術參數

型號	TEX-25A
使用溫度范圍	+70℃～+200℃
溫度調節精度	PID控制、±2.0℃(*1)
功率輸出	2.5kW
泵能力	流量：10L/min(0.2MPa、60Hz時) 功率輸出：0.75kW
升溫／降溫時間	升溫時間(+70℃→+200℃)：約30分(冷卻水OFF) 降溫時間(+200℃→+70℃)：約25分(冷卻水ON) 冷卻水條件：約8L/min at +20℃(*2)
安全器/安全功能	漏電斷路器、高溫、溫度異常、防止空燒、液面上限、泵超負荷
輸入/輸出功能	遠程信號輸入、加熱器ON/OFF輸入、冷卻水ON/OFF輸入、溫度監視器信號輸出、安全器操作信號外部輸出
適用熱媒體(循環液)	GALDEN HT270
循環液罐容量	約3L(＋備用罐：約7L)
配管連接口徑(循環液出入口、一次冷卻水出入口)	Rc1/2、Rc1/2
外形尺寸	405×692×811Hmm
重量	約80kg
電源	三相AC200V?50/60Hz?15A
運轉電流	12A

(*1)裝置單體無負荷情況下，循環流量在5L/min以上。
(*2)裝置單體無負荷情況下。
●本產品使用環境溫度范圍為+7℃～+35℃。
●本機為大型、重量機器，運送、安裝等費用需另付。