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深圳市科晶智達科技有限公司
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溫控型感應加熱/熔煉系統，帶進料前級系統和熔煉攪拌裝置
溫控型感應加熱/熔煉系統，帶進料前級系統和熔煉攪拌裝置。石英前級腔室可將各種原材料導入到熔煉坩堝內，而不影響主腔室的環境。
| 性能指標和基本配置 | ||
|---|---|---|
| 型號 | SP-50KT | SP-85KTC |
| 感應電源 | ● 工作電壓：380V，50Hz，三相 | |
| 溫控系統和熱電偶 | ● 精密數顯溫控系統，采用PID調節方式 | |
| 石墨坩堝，耐火材料和防護罩 | | |
| ● ·高純石墨坩堝:50mm(內徑) * 40mm(外徑) *110mm（深）,坩堝是用來感應加熱和熔化金屬 | ● 高純石墨坩堝:114mm（內徑） * 100mm（外徑） *142mm（深），坩堝是用來感應加熱和熔化金屬 | |
| ● 容量：樣品所占容積應該是石墨坩堝容積的1/2 | ● 容量：樣品所占容積應該是石墨坩堝容積的1/2 | |
| ● 可熔煉物料的質量：最多0.6Kg（按純鐵的密度計算） | ● 可熔煉物料的質量：最多4Kg（按純鐵的密度計算） | |
| ● 可選:為對晶片熱處理，可定制石墨樣品臺，可放置晶片尺寸為1.5''O.D * 1/8''T，因為石墨導熱率非常高，所以可使放置的晶片受熱均勻 | ||
| ● 保溫層：石墨坩堝外環繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃） | ● 保溫層：石墨坩堝外環繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃） | |
| ● 注意: 石墨坩堝是易耗件 | ● 注意: 石墨坩堝是易耗件 | |
| 密封法蘭和石英腔體 | | |
| ● 兩端開口的石英管尺寸：130mm(OD) * 122mm(ID) * 360mm(L) | ● 兩端開口的石英管尺寸： 216?mm(OD)?*?208?mm(ID)?*?500mm(L) | |
| ● 頂部法蘭: 采用不銹鋼鉸鏈法蘭，帶有一1/4"的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內部更準確地測量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥 | ● 頂部法蘭:采用不銹鋼折疊式法蘭，帶有一1/4"的鎧裝接口（可插入熱電偶到石英管內部更準確地測量樣品溫度）法蘭上安裝有不銹鋼截止閥 | |
| ● 底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接 | ● 底部法蘭:底部法蘭接口為KF25接口，可通過波紋管與真空泵相連接 | |
| ● 儀器中配有KF25擋板閥和KF25的波紋管，以便與真空泵相連接 | ● 儀器中配有KF25擋板閥和KF25的波紋管，以便與真空泵相連接    | |
| 真空計 | ● 防腐真空計,測量范圍3.8*10E-5托 | |
| 浮子流量計 | 緊湊型直讀浮子流量計，100-1000scc/min。精度:4%。 | |
| 泄壓閥 | 為了安全考慮，在腔體內安裝泄壓閥，當壓力大于0.02MPa時，閥門會自動釋放壓力，保證安全。 | |
| 循環水冷機（選配） | ● 溫度范圍：5～30℃ | |
| 真空泵（選配） | ● 標配一個2.2L/s的雙級旋葉片真空泵 | |
| 產品尺寸 | 整體機器外形尺寸：700（L）* 1300（W）* 1200（H） | |
| 凈重 | 100Kg | |
| 應用 | ● PVT(物理蒸氣運輸)系統通過改變一個合適的坩堝，使其能夠成為生長長型碳化硅晶體，請點擊下面的圖片或問我們的工程師如何 | |
| 注意事項 | ● 為了保護石墨坩堝和C熱電偶，在整個實驗過程必須在流動惰性氣氛環境中進行。氣體流量應限制在< 200SCCM | |
| 認證 | 如果客戶需要通過MET認證，需自行支付認證費用，具體價格請聯系我們的銷售代表 | |
| 保修期 | 一年保修，終身技術支持。 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 點擊查看售后服務承諾書。 | |
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