緊湊型等離子清洗機

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產(chǎn)品型號CY-CP

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廠商性質(zhì)其他

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聯(lián)系方式：汪紀(jì)彬查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-11-27 12:21:09瀏覽次數(shù)：250次

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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司

經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：136條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：汪紀(jì)彬

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產(chǎn)品簡介

簡單介紹：緊湊型等離子清洗機帶有數(shù)字真空傳感器和顯示器，以及鉸鏈門。適用于各種氣體對2英寸以下晶圓片的納米級有機污染物進行清洗和去除。在高射頻功率下，有機去除率zui高約為10nm /min。緊湊型等離子清洗機是一種較好的單晶基材涂裝前預(yù)清潔的工具，可達(dá)到較好的涂膜質(zhì)量。

詳細(xì)介紹

詳情介紹：

緊湊型等離子清洗機主要特點：

1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級有機污染物，至多可容納2"。
2.涂層前預(yù)清洗單晶基板的優(yōu)良工具，可獲得更好的薄膜質(zhì)量。
3.鉸鏈?zhǔn)介T，便于樣品裝載。
4.3"直徑石英腔室，適用于清潔2"晶圓，可選配石英舟。
5.石英室內(nèi)的可移動石英管易于清潔和更換。

緊湊型等離子清洗機技術(shù)參數(shù)：

射頻功率

射頻功率（線圈上施加的高壓和高頻電流）可在三個級別調(diào)節(jié)：

低設(shè)置	680V	10 mA	7 W
中等設(shè)置	700V	15 mA	11 W
高設(shè)置	720V	25 mA	18 W

等離子室

?3"直徑×6.5"長的石英室

?700 mL容量

?高純度石英室比玻璃具有更長的使用壽命

真空計和顯示器

?Stinger壓力表安裝在鉸鏈門上。

?1/8"NPT針閥，可定性控制氣體流量和腔室壓力。

?1/8"NPT三通閥，可快速切換出氣體，隔離腔室和排氣。

真空泵

包括一個雙級旋片式真空泵

輸入功率

AC 208 - 240V, 50/60Hz,單相

工作氣體

?可以選擇許多惰性氣體進行等離子體清潔，例如N2，Ar，空氣和混合氣體取決于將要處理的材料類型。

?可以使用<5％H2混合惰性氣體

?等離子清潔器不得使用。

整體尺寸

凈重

40磅

保證

一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修)

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關(guān)鍵詞：等離子清洗機清洗機顯示器雙級旋片式真空泵

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