上海升利測試儀器有限公司
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具體成交價以合同協議為準產品簡介
本系統廣泛用于CVD供氣系統，氣體保護燒結，氣體保護退火等。
產品介紹
主要特點：
1．本配比器適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其是方便三種氣體切換使用，而不會造成大氣進入加熱爐管。
2．氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。
3．每一條氣體管路均有一個高壓截止閥，安全有保證。
4．顯示流量準確，可有效地控制氣體消耗量。
5．所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。
技術參數：
氣路通道：4（可根據客戶需求設計1-8通道）
氣路流量控制器采用質量流量計控制：
標準量程（N2） ：200，500 SCCM
準 確 度 ：±1.5%
線 性 ：±0.5～1.5%
重 復 精 度 ：±0.2%
響 應 時 間 ：氣特性 1～4 See
電特性 10 See
工作壓差范圍 ：0.1～0.5 MPa
zui 大 壓 力 ：3 MPa
接 口 ：Φ6,1/4”
顯 示 ：4位數字顯示
工作環境溫度:5~
高純氣體不銹鋼管：Φ6外X Φ4內
壓 力 真 空 表 ：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截 止 閥 ：Φ6
備注：可選配質量流量計
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