消息稱臺積電亞利桑那州工廠已開始安裝首臺EUV光刻機(jī)

2023-08-23 09:54:10來源：TechWeb.com.cn 關(guān)鍵詞：EUV光刻機(jī)晶圓代工閱讀量：23317

導(dǎo)讀：EUV光刻機(jī)是5nm、4nm、3nm等先進(jìn)制程工藝必不可少的設(shè)備，對晶圓代工至關(guān)重要。

　　8月22日消息，據(jù)外媒報(bào)道，臺積電2020年5月份宣布投資120億美元在美國亞利桑那州建設(shè)的首座晶圓廠，已開始安裝首臺EUV光刻機(jī)。

　　不過，外媒在報(bào)道中也提到，臺積電亞利桑那州的工廠，目前仍需要大量的工人安裝精密的設(shè)備，還需要2000名員工。

　　臺積電是在2020年的5月15日，宣布在亞利桑那州建設(shè)晶圓廠的。計(jì)劃2021年開始建設(shè)，目標(biāo)是2024年投產(chǎn)，當(dāng)時(shí)是計(jì)劃建成之后采用5nm制程工藝為相關(guān)的客戶代工晶圓，月產(chǎn)能20000片晶圓，預(yù)計(jì)2021年-2029年投資120億美元。

　　而在去年的12月6日，臺積電宣布亞利桑那州工廠將升級到4nm制程工藝，并開始建設(shè)第二座晶圓廠，建成之后采用3nm制程工藝為相關(guān)的客戶代工晶圓，兩座晶圓廠的投資將接近400億美元。

　　就動工的時(shí)間來看，已開始安裝首臺EUV光刻機(jī)的，是臺積電在亞利桑那州的首座工廠，也就是2020年5月份宣布建設(shè)的那一座晶圓廠。

　　EUV光刻機(jī)是5nm、4nm、3nm等先進(jìn)制程工藝必不可少的設(shè)備，對晶圓代工至關(guān)重要，當(dāng)前僅阿斯麥能制造，臺積電也已從阿斯麥采購了大量的EUV光刻機(jī)，未來還需要大量采購，用于3nm、2nm等制程工藝的代工。

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