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2．研磨盤修整機構采用油壓懸浮導軌前后往復運動，金剛石修面刀給研磨盤的研磨面進行精密修整，得到理想的平面效果。
硅片雙面研磨機特 點：
1．系列研磨機工件加壓采用氣缸加壓的方式，壓力可調；
2．系列研磨機采用PLC程控系統，觸摸屏操作面板，研磨盤轉速與定時可直接在觸摸屏上輸入。
硅片雙面研磨機技術參數：
| 型 號 | YM-24LX-3Q | YM-30LX-3Q | YM-36LX-3Q | YM-48LX-3Q |
| 研磨盤（外徑×內徑） | ￠610mm×￠210mm | ￠760mm×￠260mm | ￠910mm×￠310mm | ￠1220mm×￠400mm |
| 修正輪（外徑×內徑） | ￠280mm×￠240mm,3個 | ￠360mm×￠310mm,3個 | ￠410mm×￠360mm,3個 | ￠510mm×￠470mm,3個 |
| 工件zui大加工尺寸 | ￠220mm, | ￠290mm | ￠333mm, | ￠430mm, |
| 工件加工平度 | 0.001 mm（￠220mm,） | 0.0015 mm（￠290mm） | 0.0015 mm（￠333mm,） | 0.002 mm（￠430mm,） |
| 主電機功率 | 2.2KW,380V,3相 | 3.7KW,380V,3相 | 7.5KW,380V,3相 | 11KW,380V,3相 |
| 研磨盤轉數 | 0-80RPM | 0-80RPM | 0-60RPM | 0-40RPM |
| 加壓氣缸數量 | 3個 | 3個 | 3個 | 3個 |
| 氣缸zui大加壓 | 90kg | 130kg | 200kg | 300kg |
| 外形尺寸 | 1500mm×900mm×2100mm | 1500mm×900mm×2100mm | 1800mm×1500mm×2200mm | 2200mm×2000mm×2300mm |
| 設備重量 | 1300kg | 1400kg | 3000kg | 4500kg |
硅片雙面研磨機如有任何業務問題請登陸咨詢：http://www.szfangda。。ｃｎ/;http://www.ympgj。。ｃｏｍ/;http://www.lapping。。ｃｏｍ.cn/;http://www.szfangda。。ｃｎ/;：吳 。
