石英管式微波等離子體裝置是我廠專門為大學和研究機構設計的小型化產品，可用于薄膜材料的

制備和等離子體物理等方面的研究工作，并且特別適宜于大中專學校的材料、化學工程與工藝、物理

等專業的學生實驗。該裝置利用微波能激勵稀薄氣體放電在石英管中產生穩態等離子體，通過通入不

同的工作氣體，可進行功能薄膜材料的制備、化學合成、表面刻蝕、等離子體診斷等多方面的實驗。

一、FM-CVD 石英管式微波等離子體裝置主要配置

   1. 2.45GHz，0~500W微波功率連續可調，可滿足不同實驗的要求；
   2. ф50mm的石英管真空室，帶有一個觀察窗和一個診斷窗口，保證各

種實驗方便進行；
   3. 石英管采用水冷卻，可保證裝置在高功率條件下安全運行；
   4. 配置了3路氣體管路，氣體流量控制方便；
     真空測量系統及控制閥門可保證真空室所需的真空環境。

二、典型實驗
    1. 等離子體化學氣相沉積
       A（氣）+B（氣）→ C（固）+D（氣）
     反應氣體A、B被激發為等離子體狀態， 其活性基團發生反應生成所需要的固態物沉積在基片上，可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜氮化碳薄膜、碳納米材料等。
    2. 等離子體表面刻蝕
      A（氣）+B（固）→ C（氣）
     反應氣體A 被激發為等離子體狀態與固體B表面原子發生反應生成氣態物C，可用于集成電路的刻蝕實驗。
    3. 等離子體催化反應
     利用等離子體中豐富的活性成分，如紫外和可見光子、電子、離子、自由基；高反應性的中性成分，如活性原子，受激原子態，從而引發在常規化學反應中不能或很難實現的化學反應。
    4. 等離子體表面改性
      A（氣）+B（固）→ C（固）
     反應氣體A 被激發為等離子體狀態與固體B表面發生反應生成新的化合物從而達到改變B物質表面性質的目的。可廣泛用于高分子材料、金屬材料及生物材料的表面改性實驗。