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1概述

它與其它類別氣體傳感器如電化學(xué)式、催化燃燒式、半導(dǎo)體式等相比具有應(yīng)用廣泛、使用壽命長、靈敏度高、穩(wěn)定性好、適合氣體多、性價比高、維護(hù)成本低、可在線分析等等一系列優(yōu)點(diǎn)。其廣泛應(yīng)用于石油化工、冶金工業(yè)、工礦開采、大氣污染檢測、農(nóng)業(yè)、醫(yī)療衛(wèi)生等領(lǐng)域。

2原理及技術(shù)演化

分子中的電子總是處在某一種運(yùn)動狀態(tài)中，每一種狀態(tài)都具有一定的能量，屬于一定的能級。 電子由于受到光、熱、電的激發(fā)，從一個能級轉(zhuǎn)移到另一個能級，稱為躍遷。當(dāng)這些電子吸收了外來輻射的能量，就從一個能量較低的能級躍遷到另一個能量較高的能級。由于分子內(nèi)部運(yùn)動所牽涉到的能級變化比較復(fù)雜，分子吸收光譜也就比較復(fù)雜。在分子內(nèi)部除了電子運(yùn)動狀態(tài)之外，還有核間的相對運(yùn)動，即核的振動和分子繞重心的轉(zhuǎn)動。而振動能和轉(zhuǎn)動能，按量子力學(xué)計算是不連續(xù)的，即具有量子化的性質(zhì)。所以，一個分子吸收了外來輻射之后，它的能量變化△E為其振動能變化△Ev、轉(zhuǎn)動能變化△Er以及電子運(yùn)動能量變化△Ee的總和。

物質(zhì)對不同波長的光線具有不同的吸收能力，物質(zhì)也只能選擇性地吸收那些能量相當(dāng)于該分子振動能變化△Ev 、轉(zhuǎn)動能變化△Er以及電子運(yùn)動能量變化△Ee總和的輻射。

由于各種物質(zhì)分子內(nèi)部結(jié)構(gòu)的不同，分子的能級也千差萬別，各種能級之間的間隔也互不相同，這樣就 決定了它們對不同波長光線的選擇吸收。

如果改變通過某一吸收物質(zhì)的入射光的波長，并記錄該物質(zhì)在每一波長處的吸光度（A），然后以波長為橫坐標(biāo)，以吸光度為縱坐標(biāo)作圖，得到的譜圖稱為該物質(zhì)的吸收光譜或吸收曲線。某物質(zhì)的吸收光譜反映了它在不同的光譜區(qū)域內(nèi)吸收能力的分布情況，可以從波形、波峰的強(qiáng)度和位置及其數(shù)目，研究物質(zhì)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。分子的振動能量比轉(zhuǎn)動能量大，當(dāng)發(fā)生振動能級躍遷時，不可避免地伴隨有轉(zhuǎn)動能級的躍遷，所以無法測量純粹的振動光譜，而只能得到 分子的振動-轉(zhuǎn)動光譜，這種光譜稱為紅外吸收光譜。紅外吸收光譜是一種分子吸收光譜。當(dāng)樣品受到頻率連續(xù)變化的紅外光照射時，分子吸收某些頻率的輻射，并由其振動或轉(zhuǎn)動運(yùn)動引起偶極矩的凈變化，產(chǎn)生分子振動和轉(zhuǎn)動能級從基態(tài)到激發(fā)態(tài)的躍遷，使相應(yīng)于這些吸收區(qū)域的透射光強(qiáng)度減弱。記錄紅外光的百分透射比與波數(shù)或波長關(guān)系曲線，就得到紅外光譜。

當(dāng)紅外線波長與被測氣體吸收譜線相吻合時，紅外能量被吸收。紅外光線穿過被測氣體后的光強(qiáng)衰減滿足朗伯-比爾（Lambert-Beer）定律。氣體濃度越大，對光的衰減也越大。因此，可通過測量氣體對紅外光線的衰減來測量氣體濃度。為了保證讀數(shù)呈線性關(guān)系，當(dāng)待測組分濃度大時，分析器的測量氣室較短，短的為0.3mm；當(dāng)濃度低時，測量氣室較長，長的為>200mm。經(jīng)吸收后剩余的光能用紅外檢測器檢測。

分光是指用棱鏡或光柵進(jìn)行分光，由光源發(fā)出的紅外線分成*對稱的兩束光：參考光束與樣品光束。它們經(jīng)半圓型調(diào)制鏡調(diào)制，交替地進(jìn)入單色儀的狹縫，通過棱鏡或光柵分光后由熱電偶檢測兩束光的強(qiáng)度差。當(dāng)樣品光束的光路中沒有樣品吸收時，熱電偶不輸出信號。一旦放入測試樣品，樣品吸收紅外光，兩束光有強(qiáng)度差產(chǎn)生，熱電偶便有約10Hz的信號輸出，經(jīng)過放大后輸至電機(jī)，調(diào)節(jié)參考光束光路上的光楔，使兩束光的強(qiáng)度重新達(dá)到平衡，由筆的記錄位置直接指出了某一波長的樣品透射率，波數(shù)的連續(xù)變化就自動記錄了樣品的紅外吸收光譜或透射光譜。基于這樣原理的氣體傳感器就稱為分光紅外氣體傳感器。

隨著紅外光學(xué)材料及微電子封裝技術(shù)的發(fā)展，紅外探測器在其封裝上固定安裝有針對不同氣體的窄帶干涉濾光片。通過使用固定有不同波長濾光片的的紅外傳感器，可以實(shí)現(xiàn)對不同氣體的測量。

熱釋電材料是一種具有自發(fā)極化的電介質(zhì),它的自發(fā)極化強(qiáng)度隨溫度變化,可用熱釋電系數(shù)p來描述,p=dP/dT（P為極化強(qiáng)度，T為溫度）。在恒定溫度下，材料的自發(fā)極化被體內(nèi)的電荷和表面吸附電荷所中和。如果把熱釋電材料做成表面垂直于極化方向的平行薄片，當(dāng)紅外輻射入射到薄片表面時，薄片因吸收輻射而發(fā)生溫度變化，引起極化強(qiáng)度的變化。而中和電荷由于材料的電阻率高跟不上這一變化，其結(jié)果是薄片的兩表面之間出現(xiàn)瞬態(tài)電壓。若有外電阻跨接在兩表面之間，電荷就通過外電路釋放出來。電流的大小除與熱釋電系數(shù)成正比外，還與薄片的溫度變化率成正比，可用來測量入射輻射的強(qiáng)弱。

熱釋電型紅外探測器都是用硫酸三甘酞（TGS）和鉭酸鋰 （LiTaO3）等熱釋電材料（p的數(shù)量級為10-8C/Kcm2）的小薄片作為響應(yīng)元，加上支架、管殼和窗口等構(gòu)成。它在室溫工作時，對波長沒有選擇性。

熱電堆的結(jié)構(gòu)輻射接收面分為若干塊，每塊接一個熱電偶，把它們串聯(lián)起來，就構(gòu)成熱電堆。按用途不同，實(shí)用的熱電堆可以制成細(xì)絲型和薄膜型，亦可制成多通道型和陣列型器件。帶紅外帶通濾波器的傳感器應(yīng)用于紅外吸收氣體探測。

熱釋電和熱電堆型紅外探測器的根本區(qū)別在于，后者利用響應(yīng)元的溫度升高值來測量紅外輻射，響應(yīng)時間取決于新的平衡溫度的建立過程，時間比較長，不能測量快速變化的輻射信號。而熱釋電型探測器所利用的是溫度變化率，因而能探測快速變化的輻射信號。這種探測器在室溫工作時的探測率可達(dá) D≈1～2×109厘米·赫/瓦。70年代中期以來,這種探測器在實(shí)驗(yàn)室的光譜測量中逐步取代溫差電型探測器和氣動型探測器。

利用這些窗口濾波紅外探測器，不用進(jìn)行分光，從而可以直接測量對應(yīng)濾波片波段也即相應(yīng)氣體吸收波段的紅外光強(qiáng)度，這樣的氣體傳感器成為非分光紅外（NDIR）氣體傳感器。 

3優(yōu)缺點(diǎn)

首先，紅外傳感器的應(yīng)用很廣，在檢測很多種的氣體中都使用到它，而且它的可靠性很高，選擇性很好，精度也高，沒有毒，受到環(huán)境的干擾較小，壽命比較長，對氧氣不依賴等等的優(yōu)點(diǎn)，在未來的市場中很可能會成為主流的。當(dāng)然，它也有缺點(diǎn)，因?yàn)樘幵趧倓偲鸩降碾A段，技術(shù)不夠，而且市場上很少，制造的成本比較高，這些種種的缺點(diǎn)對它在市場上的使用都有一定的限制。但是，希望在未來的技術(shù)發(fā)展中，可以發(fā)現(xiàn)更多更好的技術(shù)讓它變得更加成熟，更加實(shí)用，在市場上的占有位置更高。 

4市場及動態(tài)

NDIR紅外氣體分析儀作為一種快速、準(zhǔn)確的氣體分析技術(shù)在實(shí)際應(yīng)用中十分普遍。NDIR儀器*中國外占有率在74%左右，早先國內(nèi)NDIR氣體分析儀的主要廠家大都采用八十年代初的紅外氣體分析方法，采用鎳锘絲加電機(jī)機(jī)械調(diào)制紅外光源，采用薄膜電容微音器或InSb等作為傳感器。采用電機(jī)機(jī)械調(diào)制，儀器功耗大，且穩(wěn)定性差，儀器造價也很高。采用薄膜電容微音器作為傳感使得儀器對震動十分敏感，因此不適合便攜測量。隨著紅外光源、傳感器及電子技術(shù)的發(fā)展，NDIR紅外氣體傳感器在國外得到了迅速的發(fā)展，它無機(jī)械調(diào)制裝置，采用新型紅外傳感器及電調(diào)制光源，在儀器電路上采用了低功耗嵌入式系統(tǒng)，使得儀器在體積、功耗、性能、價格上具有以往儀器*的優(yōu)勢。

未來一段時間，使用半導(dǎo)體和催化原理的氣體檢測儀器儀表依靠著價格優(yōu)勢仍會占據(jù)部分低端市場。電化學(xué)傳感器及檢測儀器，在精度要求高的低濃度毒性氣體、有機(jī)蒸汽、酒精氣體、氧氣監(jiān)測領(lǐng)域綜合優(yōu)勢突出。紅外氣體傳感器及儀器適用于監(jiān)測各種易燃易爆、二氧化碳?xì)怏w，具有精度高、選擇性好、可靠性高、不中毒、不依賴于氧氣、受環(huán)境干擾因素較小、壽命長等顯著優(yōu)點(diǎn)。這些優(yōu)點(diǎn)將導(dǎo)致電化學(xué)、紅外原理的氣體檢測儀器占領(lǐng)更廣泛的行業(yè)市場，并在未來逐步成為市場主流。